芯片失效分析
深圳市芯谷集成电路有限公司失效分析的常用方法大致分为硬方法和软方法两种,在实际失效分析过程中,我们综合运用两种方法来提供分析服务。其中,硬方法主要指使用光电显微镜等硬件设备来检查和确定失效原因,从而改进工艺过程。软方法是主要是指利用电子设计自动化工具软件进行失效分析的方法。
我们失效分析主要服务项目包括:
1、芯片开封:去除IC封胶, 同时保持芯片功能的完整无损, 保持 die, bond pads, bond wires乃至lead-frame不受损伤, 为下一步芯片失效分析实验做准备。
2、SEM 扫描电镜 / EDX成分分析:包括材料结构分析/缺陷观察、元素组成常规微区分析、精确测量元器件尺寸等等。
3、探针测试:以微探针快捷方便地获取IC内部电信号。
镭射切割:以微激光束切断线路或芯片上层特定区域。
4、EMMI侦测:EMMI微光显微镜是一种效率极高的失效分错析工具, 提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式,可侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红 外光), 由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
5、OBIRCH应用(镭射光束诱发阻抗值变化测试):OBIRCH常用于芯片内部高阻抗及低阻抗分析,线路漏电路径分析。利用OBIRCH方法,可以有 效地对电路中缺陷定位,如线条中的空洞、通孔下的空洞。通孔底部高阻区等;也能有效的检测短路或漏电,是发光显微技术的有力补充。
6、LG液晶热点侦测:利用液晶感测到IC漏电处分子排列重组,在显微镜下呈现出不同于其它区域的斑状影像, 找寻在实际分析中困扰设计人员的漏电区域(超过10mA之故障点)。
7、定点/非定点芯片研磨。
8、去金球:移除植于液晶驱动芯片 Pad上的金凸块, 保持Pad完好无损, 以利后续分析或rebonding。
9、X-Ray 无损侦测:检测IC封装中的各种缺陷如层剥离、爆裂、空洞以及打线的完整性,PCB制程中可能存在的缺陷如对齐不良或桥接,开路、短路或不正常连接的缺陷,封装中的锡球完整性。
10、SAM (SAT)超声波探伤
可对IC封装内部结构进行非破坏性检测, 有效检出因水气或热能所造成的各种破坏如:晶元面脱层、锡球、晶元或填胶中的裂缝,封装材料内部的气孔,各种孔洞如晶元接合面、锡球、填胶等处的孔洞。